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深圳市中控微科技有限公司

Shenzhen micro control technology co., LTD

• 在半導體產業的刻蝕、擴散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關鍵制程環節都需要使用各高純氣體。由于高純氣體在生產過程中與產品直接接觸，因此高純氣體輸送系統是集成電路、平板顯示、半導體照明、太陽能光伏和光纖制造等泛半導體行業中最關鍵的廠務系統之一。
• 據統計，在導致良品率下降的污染源中，氣體污染占例達到68%。因此，如何避免輸送過程中系統對高純氣體的二次污染便成為高純氣體輸送系統的首要考量。
• 半導體行業所使用的各類特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等各種危險特性。同時，由于半導體行業工藝復雜先進，對高純氣體的質量保障和系統穩定運行提出了嚴苛的要求。因此，在超高純氣體輸送系統的設計、安裝和運行過程中需要充分考慮潔凈度、安全性、穩定性等關鍵因素。
• 高純氣體輸送系統在系統開機調試之前必須通過保壓測試、氦檢漏測試、水分增量測試、氧分增量測試、顆粒度增量測試來保證系統的高潔凈度和高安全度。