適用于各種半導體裝置、設備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產線使用。
該閥利用直接式隔膜結構,達到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片閥基礎上實現了小型化。
口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力可達20.5Mpa 材質:SUS316L EP級處理
基本結構是由不銹鋼(SUS316)本體(STAINLESS BODY)、前環(FRONT RING)、后環(BACK RING)與母螺母(NUT)4部分組成的。
口徑:1/4” ~3/4” 最高使用壓力16.2Mpa 使用溫度范圍:-196~350℃ EP級處理
基本結構是由不銹鋼(SUS316)本體(STAINLESS BODY)、前環(FRONT RING)、后環(BACK RING)與母螺母(NUT)4部分組成的。
口徑:1/4” ~3/4” 最高使用壓力16.2Mpa 使用溫度范圍:-196~350℃ EP級處理
基本結構是由不銹鋼(SUS316)本體(STAINLESS BODY)、前環(FRONT RING)、后環(BACK RING)與母螺母(NUT)4部分組成的。
口徑:1/4” ~3/4” 最高使用壓力16.2Mpa 使用溫度范圍:-196~350℃ EP級處理