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• 氣體按用量的大小可分為二種，用量較大的稱為大宗氣體，用量較小的稱為特種氣體。
• 大宗氣體有：氮?dú)狻⒀鯕狻錃狻鍤夂秃狻Ｆ渲械獨(dú)庠谡麄€工廠中用量最大，依據(jù)不同的質(zhì)量需求，又分為普通氮?dú)夂凸に嚨獨(dú)狻?/strong>
• 大宗氣體系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)和輸送管道系統(tǒng)組成，其中供氣系統(tǒng)又可細(xì)分為氣源、純化和品質(zhì)監(jiān)測等幾個部分。通常在設(shè)計中將氣源設(shè)置在獨(dú)立于生產(chǎn)廠房（FAB）之外的氣體站（Gas  Yard），而氣體的純化則往往在生產(chǎn)廠房內(nèi)專門的純化間（Purifier Room）中進(jìn)行，這樣使高純氣體的管線盡可能的短，既保證氣體的品質(zhì)，又節(jié)約成本。
• 經(jīng)純化后的大宗氣體由管道從氣體純化間輸送至輔道生產(chǎn)層（SubFAB）或生產(chǎn)車間的架空地板下，在這里形成配管網(wǎng)絡(luò)，最后由二次配管系統(tǒng)（Hook-up）送至各用戶點(diǎn)